文献
J-GLOBAL ID:201002271145438914
整理番号:10A0863670
シリコン上SMAワイヤマイクロアクチュエータの設計とウエハレベル作製
Design and Wafer-Level Fabrication of SMA Wire Microactuators on Silicon
著者 (7件):
CLAUSI Donato
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
GRADIN Henrik
(Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE)
,
BRAUN Stefan
(Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE)
,
PEIRS Jan
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
STEMME Goeran
(Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE)
,
REYNAERTS Dominiek
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
VAN DER WIJNGAART Wouter
(Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
19
号:
4
ページ:
982-991
発行年:
2010年08月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)