文献
J-GLOBAL ID:201002273623277525
整理番号:10A0325949
表面修飾に向けた電子ビーム蒸発装置による新しい金属イオン発生源
A New Metal-Ion Source with An Electron-Beam Evaporator for Surface Modification
著者 (4件):
NUNOGAKI Masanobu
(The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., JPN)
,
EMURA Shuichi
(The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., JPN)
,
SHIGEMOTO Akihiko
(Industrial Technol. Center of Wakayama Prefecture, JPN)
,
SUGIMOTO Satoshi
(Graduate School of Engineering, Osaka Univ., JPN)
資料名:
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)
(e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻:
8
ページ:
131-135 (J-STAGE)
発行年:
2010年
JST資料番号:
U0016A
ISSN:
1348-0391
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)