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文献
J-GLOBAL ID：201002274248962157
整理番号：10A0048866
光電気化学エッチングによる6H-SiC基板上の裸多孔質表面の形成
Formation of Bare Porous Surface on 6H-SiC Substrates by Photo-Electrochemical Etching
TANAKA Akira
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
KATSUNO Hironobu
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48 号： 12 ページ： 120217.1-120217.3 発行年： 2009年12月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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