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文献
J-GLOBAL ID：201002274564863837
整理番号：10A0908051
レーザープラズマ軟X線によるSiO2,PMMA,PDMSのマイクロ・ナノ加工
牧村哲也
(筑波大)
,
鳥居周一
(筑波大)
,
HE Tingchao
(上海交通大)
,
WANG Changshun
(上海交通大)
,
宇理須恒雄
(岡崎国立共同研究機構 分子科研)
,
岡崎功太
(九大)
,
中村大輔
(九大)
,
高橋昭彦
(九大 医学研究院)
,
岡田龍雄
(九大)
,
新納弘之
(産業技術総合研)
,
村上浩一
(筑波大)
資料名：
ナノ学会大会講演予稿集
(ナノ学会大会)
巻： 8th ページ： 346 発行年： 2010年05月13日
JST資料番号： L3641B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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