文献
J-GLOBAL ID:201002274689464454
整理番号:10A0685220
チップに基づくナノ製造: 真のナノテクノロジーへの取組み
Tip-Based Nanofabrication: An Approach to True Nanotechnology
著者 (3件):
SCHOFIELD Adam R.
(System Planning Corp., VA)
,
BLOSCHOCK Kristen P.
(System Planning Corp., VA)
,
KENNY Thomas W.
(Defense Advanced Res. Projects Agency, VA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7637
ページ:
76371D.1-76371D.6
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)