文献
J-GLOBAL ID:201002274799325450
整理番号:10A0465501
溝状パターン化されたAlN/サファイアのテンプレートの上に成長した厚いAlN層内部の局所歪分布
Distribution of local strain in thick AlN layers grown on a trench-patterned AlN/sapphire template
著者 (11件):
SOAM V.
(Osaka Univ.)
,
YOSHITAKE O.
(Osaka Univ.)
,
EBIHARA K.
(Osaka Univ.)
,
KIKKAWA J.
(Osaka Univ.)
,
NAKAMURA Y.
(Osaka Univ.)
,
SAKAI A.
(Osaka Univ.)
,
MIYAKE H.
(Mie Univ.)
,
HIRAMATSU K.
(Mie Univ.)
,
IMAI Y.
(JASRI)
,
KIMURA S.
(JASRI)
,
SAKATA O.
(JASRI)
資料名:
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻:
57th
ページ:
ROMBUNNO.17A-TB-10
発行年:
2010年03月03日
JST資料番号:
Y0054B
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)