文献
J-GLOBAL ID:201002275107253159
整理番号:10A0186992
大気圧で作動する棒構造を有する新静電駆動音叉の微細加工ジャイロスコープ
A novel electrostatic-driven tuning fork micromachined gyroscope with a bar structure operating at atmospheric pressure
著者 (4件):
CHE Lufeng
(Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN)
,
XIONG Bin
(Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN)
,
LI Yufang
(Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN)
,
WANG Yuelin
(Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
20
号:
1
ページ:
015025,1-6
発行年:
2010年01月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)