文献
J-GLOBAL ID:201002275186170409
整理番号:10A0626861
エタノールクラスターイオンビームとシリコン表面間の相互作用
Interaction between ethanol cluster ion beam and silicon surface
著者 (4件):
RYUTO Hiromichi
(Photonics and Electronics Sci. and Engineering Center, Kyoto Univ., Nishikyo, Kyoto 615-8510, JPN)
,
OZAKI Ryosuke
(Photonics and Electronics Sci. and Engineering Center, Kyoto Univ., Nishikyo, Kyoto 615-8510, JPN)
,
MUKAI Hiroshi
(Photonics and Electronics Sci. and Engineering Center, Kyoto Univ., Nishikyo, Kyoto 615-8510, JPN)
,
TAKAOKA Gikan H.
(Photonics and Electronics Sci. and Engineering Center, Kyoto Univ., Nishikyo, Kyoto 615-8510, JPN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
84
号:
12
ページ:
1419-1422
発行年:
2010年06月25日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)