文献
J-GLOBAL ID:201002275716961542
整理番号:10A0632497
PDMS基材に基づく弾性MEMSプローブカード
Elastic MEMS probe card based on the PDMS substrate
著者 (8件):
JING Xiangmeng
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
JING Xiangmeng
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
CHEN Di
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
HUANG Chuang
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
CHEN Xiang
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
MIAO Jianmin
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
LIU Jingquan
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
ZHU Jun
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
20
号:
5
ページ:
055038,1-7
発行年:
2010年05月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)