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J-GLOBAL ID：201002275817265458 整理番号：10A1027169

置換リソグラフィーにおけるインキまたはバックグラウンドSAMとしての末端アルキン: 偶発的置換対指向性置換

Terminal Alkynes as an Ink or Background SAM in Replacement Lithography: Adventitious versus Directed Replacement

著者 (2件)：

TUCKER Eric Z.

(North Carolina State Univ., North Carolina)

GORMAN Christopher B.

(North Carolina State Univ., North Carolina)

資料名：

Langmuir (Langmuir)

巻： 26 号： 18 ページ： 15027-15034 発行年： 2010年09月21日
JST資料番号： A0231B ISSN： 0743-7463 CODEN： LANGD5 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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