文献
J-GLOBAL ID:201002276339078465
整理番号:10A0632487
ダイモンドスクライビングおよび型成形による高効率ブレーズド回折格子の製造工程の最適化
Optimizing the fabrication process of a high-efficiency blazed grating through diamond scribing and molding
著者 (4件):
LEE ChaBum
(Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR)
,
KURIYAGAWA Tsunemoto
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
WOO Do-Kyun
(Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR)
,
LEE Sun-Kyu
(Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
20
号:
5
ページ:
055028,1-7
発行年:
2010年05月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)