文献
J-GLOBAL ID:201002276380691300
整理番号:10A1383968
イオンアシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜の作製
Deposition Polymerization of Fluoropolymer Thin Films by Ion-Assisted Vapor Deposition
著者 (4件):
松田剛
(東京農工大 大学院工学府)
,
泉田和夫
(住友精密工業)
,
田中邦明
(東京農工大 大学院工学府)
,
臼井博明
(東京農工大 大学院工学府)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
110
号:
243(OME2010 46-54)
ページ:
5-10
発行年:
2010年10月15日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)