文献
J-GLOBAL ID:201002276511559160
整理番号:10A1146161
ライン制御のためのダイベース欠陥制限歩留り方法論
A Die-Based Defect-Limited Yield Methodology For Line Control
著者 (1件):
RILEY Stuart L.
(Value-Added Software Solutions, TX)
資料名:
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻:
2010
ページ:
27-33
発行年:
2010年
JST資料番号:
W0718A
ISSN:
1078-8743
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)