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文献
J-GLOBAL ID：201002276676630277
整理番号：10A0537233
ナノメートルの空間分解能を持つ新たに開発した三次元輪郭スキャナ
A newly developed three-dimensional profile scanner with nanometer spatial resolution
SHINNO H.
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
YOSHIOKA H.
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
GOKAN T.
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
SAWANO H.
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
資料名：
CIRP Annals. Manufacturing Technology
(CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 59 号： 1 ページ： 525-528 発行年： 2010年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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