前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201002276831543254
整理番号：10A0851267
アルゴンイオン照射のもとでのシリコン・ピッチグレーティングの二次元表面構造の発展: 実験とモデリング
Evolution of the 2D surface structure of a silicon pitch grating under argon ion bombardment: Experiment and modeling
BIZYUKOV Ivan
(Karazin Kharkiv National Univ., Fac. of Physics and Technologies, 31KurchatovAve., Kharkiv61108, UKR)
,
BIZYUKOV Ivan
(Univ. of Toronto Inst. for Aerospace Studies, 4925 Dufferin Street, Toronto, Ontario, Canada M3H 5T6)
,
MUTZKE Andreas
(Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Wendelsteinstr. 1, 17491 Greifswald, DEU)
,
SCHNEIDER Ralf
(Inst. of Physics, Ernst-Moritz-Arndt Univ., Felix-Hausdorff-Str. 6, 17489 Greifswald, DEU)
,
DAVIS James
(Univ. of Toronto Inst. for Aerospace Studies, 4925 Dufferin Street, Toronto, Ontario, Canada M3H 5T6)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 268 号： 17-18 ページ： 2631-2638 発行年： 2010年09月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。