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文献
J-GLOBAL ID：201002277139039011
整理番号：10A0685098
錫DPP光源収集モジュール(SoCoMo): ベータ製品の現状のHVM開発
Tin DPP Source Collector Module (SoCoMo): Status of Beta products and HVM developments
YOSHIOKA Masaki
(XTREME technol. GmbH, Goettingen, DEU)
,
TERAMOTO Yusuke
(Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Assoc. (EUVA), Shizuoka-prefecture, JPN)
,
ZINK Peter
(Philips Extreme UV GmbH, Aachen, DEU)
,
SCHRIEVER Guido
(XTREME technol. GmbH, Goettingen, DEU)
,
NIIMI Gota
(Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Assoc. (EUVA), Shizuoka-prefecture, JPN)
,
CORTHOUT Marc
(Philips Extreme UV GmbH, Aachen, DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7636 号： Pt.1 ページ： 763610.1-763610.12 発行年： 2010年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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