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文献
J-GLOBAL ID：201002279789483172
整理番号：10A1048767
Si基板材料の単一モード空洞におけるマイクロ波加熱挙動
Microwave heating behaviors of Si substrate materials in a single-mode cavity
CAO Ziping
(Dep. of Nanomechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
YOSHIKAWA Noboru
(Graduate School of Environment, Tohoku Univ., Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
TANIGUCHI Shoji
(Graduate School of Environment, Tohoku Univ., Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
資料名：
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻： 124 号： 2-3 ページ： 900-903 発行年： 2010年12月01日
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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