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文献
J-GLOBAL ID：201002279904475014
整理番号：10A0487956
擬似SOC技術によるMEMSセンサとセンスアンプLSIの薄型集積化モジュール
One-chip Integrated Module of MEMS Shock Sensor and Sensing Amplifier LSI using Pseudo-SOC Technology
飯田敦子
((株)東芝 研究開発センター)
,
小野塚豊
((株)東芝 研究開発センター)
,
西垣亨彦
((株)東芝 研究開発センター)
,
山田浩
((株)東芝 研究開発センター)
,
舟木英之
((株)東芝 研究開発センター)
,
板谷和彦
((株)東芝 研究開発センター)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 130 号： 5 ページ： 157-164 (J-STAGE) 発行年： 2010年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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