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文献
J-GLOBAL ID:201002280277632735   整理番号:10A0330025

軸対象磁場によって増強された真空アーク蒸着におけるカソードスポット運動と巨視的粒子の減少の研究

Study on cathode spot motion and macroparticles reduction in axisymmetric magnetic field-enhanced vacuum arc deposition
著者 (8件):
LANG W.c.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
LANG W.c.
(Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN)
XIAO J.q.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
XIAO J.q.
(Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN)
GONG J.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
SUN C.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
HUANG R.f.
(Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN)
WEN L.s.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)

資料名:
Vacuum  (Vacuum)

巻: 84  号:ページ: 1111-1117  発行年: 2010年04月19日 
JST資料番号: E0347A  ISSN: 0042-207X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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