文献
J-GLOBAL ID:201002280277632735
整理番号:10A0330025
軸対象磁場によって増強された真空アーク蒸着におけるカソードスポット運動と巨視的粒子の減少の研究
Study on cathode spot motion and macroparticles reduction in axisymmetric magnetic field-enhanced vacuum arc deposition
著者 (8件):
LANG W.c.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
,
LANG W.c.
(Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN)
,
XIAO J.q.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
,
XIAO J.q.
(Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN)
,
GONG J.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
,
SUN C.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
,
HUANG R.f.
(Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN)
,
WEN L.s.
(Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
84
号:
9
ページ:
1111-1117
発行年:
2010年04月19日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)