文献
J-GLOBAL ID:201002281696946592
整理番号:10A0260871
RFスパッタリングによって調製した高分子薄膜を有する水晶マイクロバランスを用いる原子状酸素センシング
Atomic Oxygen Sensing Using a Quartz Crystal Microbalance with a Polymer Thin Film Prepared by RF Sputtering
著者 (4件):
MATSUMOTO Hiroyuki
(Iwasaki Electric Co., Ltd., Gyoda, JPN)
,
MATSUOKA Mikihiko
(Iwasaki Electric Co., Ltd., Gyoda, JPN)
,
IWAMORI Satoru
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
NODA Kazutoshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
22
号:
2
ページ:
61-70
発行年:
2010年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)