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文献
J-GLOBAL ID：201002282626738816
整理番号：10A0389984
磁界分離アークイオンプレーティング成長による窒化アルミニウム薄膜の合成
Synthesis of aluminum nitride thin films by filtered arc ion plating deposition
YAN Xubo
(State Key Lab. for Corrosion and Protection, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, 72 Wenhua Road ...)
,
DONG Yuliang
(State Key Lab. for Corrosion and Protection, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, 72 Wenhua Road ...)
,
LI Haiqing
(State Key Lab. for Corrosion and Protection, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, 72 Wenhua Road ...)
,
GONG Jun
(State Key Lab. for Corrosion and Protection, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, 72 Wenhua Road ...)
,
SUN Chao
(State Key Lab. for Corrosion and Protection, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, 72 Wenhua Road ...)
資料名：
Materials Letters
(Materials Letters)
巻： 64 号： 11 ページ： 1261-1263 発行年： 2010年06月15日
JST資料番号： E0935A ISSN： 0167-577X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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