文献
J-GLOBAL ID:201002282977805617
整理番号:10A1118988
30nm FDSOI技術によるスケーリングを用いたhigh-κ/金属ゲート積層のVT安定性に関する新見解
New Insight on VT stability of HK/MG stacks with scaling in 30nm FDSOI technology
著者 (24件):
BRUNET L.
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
BRUNET L.
(IM2NP, Marseille)
,
GARROS X.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
CASSE M.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
WEBER O.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
ANDRIEU F.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
FENOUILLET-BERANGER C.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
PERREAU P.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
MARTIN F.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
CHARBONNIER M.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
LAFOND D.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
GAUMER C.
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
LHOSTIS S.
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
VIDAL V.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
BREVARD L.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
TOSTI L.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
DENORME S.
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
BARNOLA S.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
DAMLENCOURT J. F.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
LOUP V.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
REIMBOLD G.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
BOULANGER F.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
FAYNOT O.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
,
BRAVAIX A.
(CEA-LETI Minatec, Grenoble, FRA)
資料名:
Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology
(Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology)
巻:
2010
ページ:
23-24
発行年:
2010年
JST資料番号:
A0035B
ISSN:
0743-1562
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)