文献
J-GLOBAL ID:201002283131282634
整理番号:10A0884113
多数の走査電子顕微鏡画像からの半導体ウエハ上の回路パターンの自動認識
Automatic recognition of circuit patterns on semiconductor wafers from multiple scanning electron microscope images
著者 (3件):
NAKAGAKI Ryo
(Hitachi, Ltd, Yokohama, JPN)
,
TAKAGI Yuji
(Hitachi, Ltd, Yokohama, JPN)
,
NAKAMAE Koji
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
21
号:
8
ページ:
085501,1-14
発行年:
2010年08月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)