文献
J-GLOBAL ID:201002283967264410
整理番号:10A0840742
マグネトロンスパッタリングで室温蒸着したITO膜のピエゾ抵抗応答
Piezoresistive response of ITO films deposited at room temperature by magnetron sputtering
著者 (4件):
RASIA L. A.
(Universidade de Sao Paulo, Sao Paulo, BRA)
,
MANSANO R. D.
(Universidade de Sao Paulo, Sao Paulo, BRA)
,
DAMIANI L. R.
(Universidade de Sao Paulo, Sao Paulo, BRA)
,
VIANA C. E.
(Universidade de Sao Paulo, Sao Paulo, BRA)
資料名:
Journal of Materials Science
(Journal of Materials Science)
巻:
45
号:
15
ページ:
4224-4228
発行年:
2010年08月
JST資料番号:
B0722A
ISSN:
0022-2461
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)