文献
J-GLOBAL ID:201002284297286812
整理番号:10A0556171
機械的応力の関数としての熱作動方式マイクロアクチュエータの性能
Thermal microactuator performance as a function of mechanical stress
著者 (4件):
PHINNEY Leslie M.
(Sandia National Lab., New Mexico, USA)
,
SPLETZER Matthew A.
(Sandia National Lab., New Mexico, USA)
,
BAKER Michael S.
(Sandia National Lab., New Mexico, USA)
,
SERRANO Justin R.
(Sandia National Lab., New Mexico, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7592
ページ:
75920V.1-75920V.10
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)