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文献
J-GLOBAL ID：201002284440323619
整理番号：10A0472217
多結晶Si膜のNd3+:YAGレーザアシスト作製に対するレーザ波長及びビームプロファイルの影響
Influence of laser wavelength and beam profile on Nd3+:YAG laser assisted formation of polycrystalline-Si films
PALANI I.a.
(Dep. of Mechanical Engineering, Indian Inst. of Technol. Madras, Chennai-600036, IND)
,
VASA N.j.
(Dep. of Engineering Design, Indian Inst. of Technol. Madras, Chennai 600036, IND)
,
SINGAPERUMAL M.
(Dep. of Mechanical Engineering, Indian Inst. of Technol. Madras, Chennai-600036, IND)
,
OKADA T.
(Graduate School of Information Sci. and Electrical Engineering (ISEE), Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 518 号： 15 ページ： 4183-4190 発行年： 2010年05月31日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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