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文献
J-GLOBAL ID：201002284514700940
整理番号：10A0346754
電界エミッタアレイの製作に二重層膜を用いたイオン誘起曲げ現象の増強
Enhancement of ion-induced bending phenomenon using a double-layered film for field emitter array fabrication
YOSHIDA T.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1, Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
NAGAO M.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1, Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
KANEMARU S.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1, Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28 号： 2 ページ： C2C1 発行年： 2010年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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