文献
J-GLOBAL ID:201002285711076627
整理番号:10A0626846
マグネトロンスパッタリング-30年の一里塚
Magnetron sputtering - Milestones of 30 years
著者 (4件):
BRAEUER G.
(Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films, Bienroder Weg 54 E, D-38108 Braunschweig, DEU)
,
SZYSZKA B.
(Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films, Bienroder Weg 54 E, D-38108 Braunschweig, DEU)
,
VERGOEHL M.
(Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films, Bienroder Weg 54 E, D-38108 Braunschweig, DEU)
,
BANDORF R.
(Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films, Bienroder Weg 54 E, D-38108 Braunschweig, DEU)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
84
号:
12
ページ:
1354-1359
発行年:
2010年06月25日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)