文献
J-GLOBAL ID:201002286745042639
整理番号:10A0627039
DCマグネトロンスパッタリングによって合成されたMo-Al-Si-Nフィルムのミクロ構造と機械特性への,Al含有量の効果
Effect of Al content on the microstructure and mechanical properties of Mo-Al-Si-N films synthesized by DC magnetron sputtering
著者 (4件):
YUAN Z.g.
(Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN)
,
YANG J.f.
(Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN)
,
WANG X.p.
(Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN)
,
FANG Q.f.
(Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
204
号:
21-22
ページ:
3371-3375
発行年:
2010年08月15日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)