文献
J-GLOBAL ID:201002287001994859
整理番号:10A0769097
2値擬似ランダムグレーティングと非理想的グルーブ形状のアレイを用いた表面プロフィルメーターの変調伝達関数校正の安定性
Stability of modulation transfer function calibration of surface profilometers using binary pseudo-random gratings and arrays with nonideal groove shapes
著者 (8件):
BARBER Samuel K.
(Lawrence Berkeley National Lab., California)
,
ANDERSON Erik H.
(Lawrence Berkeley National Lab., California)
,
CAMBIE Rossana
(Lawrence Berkeley National Lab., California)
,
MARCHESINI Stefano
(Lawrence Berkeley National Lab., California)
,
MCKINNEY Wayne R.
(Lawrence Berkeley National Lab., California)
,
TAKACS Peter Z.
(Brookhaven National Lab., New York)
,
VORONOV Dmitry L.
(Lawrence Berkeley National Lab., California)
,
YASHCHUK Valeriy V.
(Lawrence Berkeley National Lab., California)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
49
号:
5
ページ:
053606.1-053606.9
発行年:
2010年05月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)