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文献
J-GLOBAL ID：201002287042619612
整理番号：10A0278030
低誘電性・定周期性中間多孔質有機シリカ膜の真空助勢・エーロゾル蒸着による作製
Vacuum-Assisted Aerosol Deposition of a Low-Dielectric-Constant Periodic Mesoporous Organosilica Film
WANG Wendong
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
,
GROZEA Daniel
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
,
KIM Ara
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
,
PEROVIC Douglas D.
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
,
OZIN Geoffrey A.
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
資料名：
Advanced Materials
(Advanced Materials)
巻： 22 号： 1 ページ： 99-102 発行年： 2010年01月05日
JST資料番号： W0001A ISSN： 0935-9648 CODEN： ADVMEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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