文献
J-GLOBAL ID:201002287076091307
整理番号:10A0098158
DC及び高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)に用いるNi,Cr,及びNiCrの光学発光分光分析
Optical Emission Spectroscopy of Ni, Cr, and NiCr for DC and High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS)
著者 (4件):
GERDES H.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU)
,
WELLHAUSEN J.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU)
,
BANDORF R.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU)
,
BRAEUER G.
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU)
資料名:
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻:
52nd
ページ:
588-591
発行年:
2009年
JST資料番号:
E0063B
ISSN:
0737-5921
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)