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文献
J-GLOBAL ID：201002288511851897
整理番号：10A1012625
湿気のある環境下におけるダイアモンドチップによるシリコンの応力誘起ナノ酸化:複合量子-古典シミュレーション研究
Stress-induced nano-oxidation of silicon by diamond-tip in moisture environment: A hybrid quantum-classical simulation study
OGATA Shuji
(Dep. of Scientific and Engineering Simulation, Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-Cho ...)
,
ABE Yuya
(Dep. of Scientific and Engineering Simulation, Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-Cho ...)
,
OHBA Nobuko
(Dep. of Scientific and Engineering Simulation, Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-Cho ...)
,
KOBAYASHI Ryo
(Dep. of Scientific and Engineering Simulation, Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-Cho ...)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 108 号： 6 ページ： 064313 発行年： 2010年09月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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