文献
J-GLOBAL ID:201002290468634016
整理番号:10A1127484
Al添加Zr金属膜を使ったZr-Al陽極酸化薄膜キャパシタの誘電特性
Dielectric Properties of Zr-Al Anodized Thin Film Capacitors Prepared Using Al-Doped Zr Alloy Films
著者 (6件):
KIMIZAKI Hidefumi
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
,
SHINKAI Satoko
(Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
,
SASAKI Katsutaka
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
,
YANAGISAWA Hideto
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
,
YAMANE Misao
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
,
ABE Yoshio
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
49
号:
10
ページ:
101501.1-101501.5
発行年:
2010年10月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)