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文献
J-GLOBAL ID:201002290468634016   整理番号:10A1127484

Al添加Zr金属膜を使ったZr-Al陽極酸化薄膜キャパシタの誘電特性

Dielectric Properties of Zr-Al Anodized Thin Film Capacitors Prepared Using Al-Doped Zr Alloy Films
著者 (6件):
KIMIZAKI Hidefumi
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
SHINKAI Satoko
(Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
SASAKI Katsutaka
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
YANAGISAWA Hideto
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
YAMANE Misao
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
ABE Yoshio
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 49  号: 10  ページ: 101501.1-101501.5  発行年: 2010年10月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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