文献
J-GLOBAL ID:201002290607706558
整理番号:10A1037485
非晶質炭素膜蒸着用の有機溶媒中でのプラズマの発生
Plasma Generation in Organic Solvent for Amorphous Carbon Film Deposition
著者 (6件):
SHINOHARA Masanori
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
ZHANG Shuai
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
KOTANI Kenji
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
AKAKI Kazuhiko
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
MATSUDA Yoshinobu
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
FUJIYAMA Hiroshi
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
資料名:
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻:
35
号:
3
ページ:
567-570
発行年:
2010年09月
JST資料番号:
L4468A
ISSN:
1382-3469
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)