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J-GLOBAL ID：201002291875175430 整理番号：10A0679026

粘接着テープを用いた半導体製造工程におけるピックアップ性能評価

Evaluation of Pick-up Performance on Semiconductor Manufacturing Using an Adhesive Tape

著者 (4件)：

佐伯尚哉

(東京工大大学院理工学研究科)

市川功

(リンテック)

因幡和晃

(東京工大大学院理工学研究科)

岸本喜久雄

(東京工大)

資料名：

日本機械学会論文集 A編 (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)

巻： 76 号： 766 ページ： 730-736 発行年： 2010年06月25日
JST資料番号： F0227B ISSN： 0387-5008 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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