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文献
J-GLOBAL ID:201002291875175430   整理番号:10A0679026

粘接着テープを用いた半導体製造工程におけるピックアップ性能評価

Evaluation of Pick-up Performance on Semiconductor Manufacturing Using an Adhesive Tape
著者 (4件):
佐伯尚哉
(東京工大 大学院理工学研究科)
市川功
(リンテック)
因幡和晃
(東京工大 大学院理工学研究科)
岸本喜久雄
(東京工大)

資料名:
日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)

巻: 76  号: 766  ページ: 730-736  発行年: 2010年06月25日 
JST資料番号: F0227B  ISSN: 0387-5008  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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