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文献
J-GLOBAL ID：201002292824359281
整理番号：10A0686601
僅かに還元されたNbドープTiO2-xセラミックターゲットを用いたdcマグネトロンスパッタリングにより堆積したNbドープTiO2膜の電気的及び光学的性質
Electrical and optical properties of Nb-doped TiO2 films deposited by dc magnetron sputtering using slightly reduced Nb-doped TiO2-x ceramic targets
SATO Yasushi
(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)
,
SANNO Yuta
(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)
,
TASAKI Chihiro
(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)
,
OKA Nobuto
(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)
,
KAMIYAMA Toshihisa
(AGC Ceramics Co. Ltd., 5-6-1 Umei, Takasago, Hyogo 676-8655, JPN)
,
SHIGESATO Yuzo
(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 28 号： 4 ページ： 851 発行年： 2010年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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