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文献
J-GLOBAL ID：201002293410179113
整理番号：10A0366280
衝突放射模型での分光法的診断によるマイクロ波放射プラズマ中の電子エネルギー分布関数の評価
Evaluation of Electron Energy Distribution Function in Microwave Discharge Plasmas by Spectroscopic Diagnostics with Collisional Radiative Model
MIZUOCHI Jun
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
SAKAMOTO Takeshi
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
MATSUURA Haruaki
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
AKATSUKA Hiroshi
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49 号： 3,Issue 1 ページ： 036001.1-036001.14 発行年： 2010年03月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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