文献
J-GLOBAL ID:201002293519814030
整理番号:10A0686634
rf及びdcマグネトロンスパッタ蒸着を用いた光学応用のためのアルミニウムドープ酸化亜鉛薄膜の堆積
Deposition of aluminum-doped zinc oxide thin films for optical applications using rf and dc magnetron sputter deposition
著者 (2件):
SIVAKUMAR Kousik
(IBM Res. Div., P.O. Box 218, Yorktown Heights, New York 10598)
,
ROSSNAGEL S. M.
(IBM Res. Div., P.O. Box 218, Yorktown Heights, New York 10598)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
28
号:
4
ページ:
515
発行年:
2010年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)