文献
J-GLOBAL ID:201002293578317066
整理番号:10A0389603
αアルミナ-g-ポリスチレンスルホン酸複合研磨剤によるハードディスク基板の化学機械研磨
Chemical mechanical polishing of hard disk substrate with α-alumina-g-polystyrene sulfonic acid composite abrasive
著者 (7件):
LEI Hong
(Res. Center of Nano-science and Nano-technology, Shanghai Univ., Shanghai 200444, CHN)
,
BU Naijing
(Res. Center of Nano-science and Nano-technology, Shanghai Univ., Shanghai 200444, CHN)
,
CHEN Ruling
(Res. Center of Nano-science and Nano-technology, Shanghai Univ., Shanghai 200444, CHN)
,
HAO Ping
(Res. Center of Nano-science and Nano-technology, Shanghai Univ., Shanghai 200444, CHN)
,
NENG Sima
(Shenzhen Kaifa Magnetic Recording Co., LTD, Shenzhen, 518035, CHN)
,
TU Xifu
(Shenzhen Kaifa Magnetic Recording Co., LTD, Shenzhen, 518035, CHN)
,
YUEN Kwok
(Shenzhen Kaifa Magnetic Recording Co., LTD, Shenzhen, 518035, CHN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
518
号:
14
ページ:
3792-3796
発行年:
2010年05月03日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)