文献
J-GLOBAL ID:201002293672801320
整理番号:10A0898686
レジストのトリミング過程における酸素-ラジカル照射によるマスク傾斜の研究
Investigation of Mask Inclination Due to Oxygen-Radical Irradiation during Resist Trimming
著者 (2件):
KOFUJI Naoyuki
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
MIURA Hideo
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
49
号:
8,Issue 2
ページ:
08JC01.1-08JC01.9
発行年:
2010年08月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)