文献
J-GLOBAL ID:201002294164470624
整理番号:10A1086236
パターン化メディアテンプレートとディスクの欠陥低減
Defect Reduction of Patterned Media Templates and Disks
著者 (9件):
LUO Kang
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
HA Steven
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
FRETWELL John
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
RAMOS Rick
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
YE Zhengmao
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
SCHMID Gerard
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
LABRAKE Dwayne
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
RESNICK Douglas J.
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
,
SREENIVASAN S. V.
(Molecular Imprints Inc., TX, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7748
ページ:
77480A.1-77480A.10
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)