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文献
J-GLOBAL ID：201002294274108718
整理番号：10A1030578
座屈によってCrN薄膜中に生じる応力緩和の推定
Estimation of the stress relief induced in CrN thin films by buckling
LAMRI S.
(LERMPS Lab. EA 3316, UTBM, 90 010 Belfort Cedex, FRA)
,
LANGLADE C.
(LERMPS Lab. EA 3316, UTBM, 90 010 Belfort Cedex, FRA)
,
KERMOUCHE G.
(Univ. de Lyon, ENISE, LTDS Lab., CNRS UMR 5513, 42023 St Etienne Cedex, FRA)
,
MARTINEZ V.
(Univ. de Lyon, Univ. Lyon I, CNRS UMR 5620, Lab. de Physico-chimie des Materiaux luminescents, Villeurbanne Cedex, F ...)
資料名：
Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing
(Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing)
巻： 527 号： 29-30 ページ： 7912-7919 発行年： 2010年11月15日
JST資料番号： D0589B ISSN： 0921-5093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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