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文献
J-GLOBAL ID：201002294285649249
整理番号：10A0387955
マルチレートフィードフォワード制御に基づいた完全追従制御法を用いた大規模作業台の高速,高精度追従制御
A Study on High-Speed and High-Precision Tracking Control of Large-Scale Stage Using Perfect Tracking Control Method Based on Multirate Feedforward Control
SAIKI Kazuaki
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
HARA Atsushi
(Nikon Corp., Yokohama, JPN)
,
SAKATA Koichi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
FUJIMOTO Hiroshi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Industrial Electronics
(IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 57 号： 4 ページ： 1393-1400 発行年： 2010年04月
JST資料番号： C0234A ISSN： 0278-0046 CODEN： ITIED6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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