文献
J-GLOBAL ID:201002294304693955
整理番号:10A0580791
CF4マイクロ波プラズマ中でのPTFE様薄膜の形成
Formation of PTFE-like films in CF4 microwave plasmas
著者 (5件):
QUADE Antje
(INP (Leibniz Inst. for Plasma Sci. and Technol. e.V.), Felix-Hausdorff-Strasse 2, 17489 Greifswald, DEU)
,
POLAK Martin
(INP (Leibniz Inst. for Plasma Sci. and Technol. e.V.), Felix-Hausdorff-Strasse 2, 17489 Greifswald, DEU)
,
SCHROEDER Karsten
(INP (Leibniz Inst. for Plasma Sci. and Technol. e.V.), Felix-Hausdorff-Strasse 2, 17489 Greifswald, DEU)
,
OHL Andreas
(INP (Leibniz Inst. for Plasma Sci. and Technol. e.V.), Felix-Hausdorff-Strasse 2, 17489 Greifswald, DEU)
,
WELTMANN Klaus-dieter
(INP (Leibniz Inst. for Plasma Sci. and Technol. e.V.), Felix-Hausdorff-Strasse 2, 17489 Greifswald, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
518
号:
17
ページ:
4835-4839
発行年:
2010年06月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)