文献
J-GLOBAL ID:201002294475219631
整理番号:10A1086240
ヘイズリスクを減らしたマスク製造プロセス
Haze Risk Reduced Mask Manufacturing Process
著者 (4件):
NESLADEK Pavel
(Advanced Mask Technol. Center, Dresden, DEU)
,
BAUDIQUEZ Valentine
(Advanced Mask Technol. Center, Dresden, DEU)
,
FOCA Eugen
(Advanced Mask Technol. Center, Dresden, DEU)
,
SASS Bjoern
(Advanced Mask Technol. Center, Dresden, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7748
ページ:
77480F.1-77480F.9
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)