文献
J-GLOBAL ID:201002295761567635
整理番号:10A0490932
ハイブリッド膜堆積のための短絡形成アーク放電を用いたチタン含有炭素プラズマの生成
Production of Titanium-Containing Carbon Plasma Using Shunting Arc Discharge for Hybrid Film Deposition
著者 (5件):
TAKAKI Koichi
(Iwate Univ., Morioka, JPN)
,
MURAKAMI Takayuki
(Iwate Univ., Morioka, JPN)
,
MUKAIGAWA Seiji
(Iwate Univ., Morioka, JPN)
,
FUJIWARA Tamiya
(Iwate Univ., Morioka, JPN)
,
YUKIMURA Ken
(Doshisha Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
49
号:
4,Issue 1
ページ:
046001.1-046001.5
発行年:
2010年04月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)