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文献
J-GLOBAL ID:201002296200071882   整理番号:10A0319977

サブナノメートル位置決め装置の開発: 新しいリニアモータの直線運動ボール案内路との結合

Development of a sub-nanometer positioning device: combining a new linear motor with linear motion ball guide ways
著者 (3件):
OTSUKA J
(Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
TANAKA T
(Toyota National Coll. of Technol., Aichi, JPN)
MASUDA I
(Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)

資料名:
Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)

巻: 21  号:ページ: 037001,1-5  発行年: 2010年03月 
JST資料番号: C0354C  ISSN: 0957-0233  CODEN: MSTCEP  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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