文献
J-GLOBAL ID:201002296200071882
整理番号:10A0319977
サブナノメートル位置決め装置の開発: 新しいリニアモータの直線運動ボール案内路との結合
Development of a sub-nanometer positioning device: combining a new linear motor with linear motion ball guide ways
著者 (3件):
OTSUKA J
(Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
,
TANAKA T
(Toyota National Coll. of Technol., Aichi, JPN)
,
MASUDA I
(Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
21
号:
3
ページ:
037001,1-5
発行年:
2010年03月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)