文献
J-GLOBAL ID:201002297688026771
整理番号:10A1542933
電気化学検出応用のための不動態化カーボンナノチューブトランジスタのバッチウエハ規模の製作
Batch wafer scale fabrication of passivated carbon nanotube transistors for electrochemical sensing applications
著者 (5件):
MARTIN-FERNANDEZ I.
(Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, E-08193 Cerdanyola del Valles, ESP)
,
BORRISE X.
(Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC) and Inst. Catala de Nanotecnologia (ICN), Campus UAB ...)
,
LORA-TAMAYO E.
(Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, E-08193 Cerdanyola del Valles, ESP)
,
GODIGNON P.
(Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, E-08193 Cerdanyola del Valles, ESP)
,
PEREZ-MURANO F.
(Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), Campus UAB, E-08193 Cerdanyola del Valles, ESP)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
28
号:
6
ページ:
C6P1
発行年:
2010年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)