文献
J-GLOBAL ID:201002298757068950
整理番号:10A0924872
層間絶縁膜用の低誘電率材料に関する信頼性と性能を制限する欠陥
Reliability and Performance Limiting Defects in Low-k Dielectrics for use as Interlayer Dielectrics
著者 (3件):
BITTEL B.C.
(Pennsylvania State Univ.)
,
LENAHAN P.M.
(Pennsylvania State Univ.)
,
KING S.
(Intel Corp.)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
2010 Vol.2
ページ:
947-950
発行年:
2010年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)